中图仪器3d光学轮廓仪设备可测从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，以及各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。是一款以白光干涉技术为原理，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

工作过程

精密Z向扫描模块与3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，进而获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

技术参数

行业技术的快速更新换代，对检测仪器企业提出了更高的要求，我们只有主动出击，迎接挑战，不断推出符合市场需求的仪器设备才能立于不败之地！中图仪器3d光学轮廓仪设备可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。

中图仪器，坚持以技术创新为发展基础，致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售，为用户提供从纳米到百米的精密测量解决方案！